超纯水设备一般由预处理+反渗透+EDI(混床)组成。当然在水质要求更高的情况下，可以在后级增加抛光树脂。由于超纯水设备造价相对较高，所以在日常使用过程中更应该注重维护及保养

超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用