​半导体超纯水设备使用中的检测方法主要包括以下几个方面：

1.pH值测试：使用pH试纸或pH计测试水样的pH值，以确保半导体超纯水设备产出的水样的pH值稳定，符合工艺要求。

2.电导率检测：使用电导率检测仪测试水样的电导率，以确保半导体超纯水设备产出的水样的电导率符合要求。
3.溶解氧检测：使用溶解氧检测仪测试水样中的溶解氧含量，以确保半导体超纯水设备产出的水样中的溶解氧含量符合要求。

4.痕量金属检测：使用痕量金属检测仪测试水样中的痕量金属含量，以确保半导体超纯水设备产出的水样中的痕量金属含量符合要求。

5.痕量有机物检测：使用痕量有机物检测仪测试水样中的痕量有机物含量，以确保半导体超纯水设备产出的水样中的痕量有机物含量符合要求。

6.细菌检测：使用细菌检测仪或PCR检测方法检测水样中的细菌数，以确保半导体超纯水设备产出的水样中的细菌数符合要求。

根据实际情况，可以选择单个或多个检测方法进行检测。检测频率和检测参数的要求会因为不同工艺和客户的需求而有所不同。