超纯水设备部分施工难度最大，其主要包括三个部分：设备的搬入及安装、共用管架(简称共架，下同)的制作安装以及管道的安装。超纯水设备的搬入一定要注意编制详细的设备吊装方案，特别是对于超重、超大、易损设备，千万不可以野蛮冒险施工，共架的施工要注意三个环节。
　　1.共架与土建结构连接处一定要坚固，最好采用预埋铁板。若因种种原因不能预埋，则应用化学铆栓固定在梁上，不应使用一般的简易膨胀螺栓。切不可用铁板和简易膨胀螺栓固定在楼板上。
　　2.整段管架一定要保持水平，以免管道与共架接触部位由于应力不均匀引起管道弯曲破损。水站的管道施工除CDA、氮气及热交换器用的蒸汽或冷热水管道可以按系统进行施工外，其他站内管道施工可分为两大部分，即共架管道施工和超纯水设备周边配管施工。开工初期两部分可以同时进行施工。当共架直管段与超纯水设备本体配管完成之后，应该从设备周边管道向共架管道进行连接配置，最终与共架管道相连形成封闭的管路系统。超纯水系统管道施工与其他一般动力管道施工有很大区别，它除了要保证管道系统的密闭性外，还有更加重要的一点，就是要在施工过程中一定要保证管道的洁净。
　　3.但需注意超纯水设备在现场施工时，施工区域要相对干净(不得有很大的灰尘)。粘接施工时禁止在地面上进行，应在加工平台上进行粘接操作。施工时一定要戴上专用洁净一次性手套，施工过程中禁止徒手接触管道的内壁(因为手上的油脂粘在管内壁很难冲洗干净)。管道在插入时使用紧线器，并划线以确认插入的深度是否足够。法兰间密封材料应用PTFE(聚四氟乙烯)。堆放场所需要垫上彩条布或塑料薄膜对管道进行保护。