​超纯水设备是一种用于制备超纯水的高科技水处理装置。超纯水是指水中几乎不含任何杂质，包括溶解盐类、有机物、微生物、胶体等，其电阻率通常在 18.2MΩ・cm（25℃）以上，是一种纯度极高的水，主要用于对水质要求极高的领域，如半导体制造、生物制药、高端分析仪器等。
预处理阶段：主要目的是去除水中的悬浮物、胶体、有机物和部分硬度离子等。通常采用多介质过滤器（如石英砂、活性炭等）进行过滤，石英砂过滤器可以去除水中较大颗粒的悬浮物，活性炭过滤器则能吸附水中的有机物和余氯。此外，还可能包括软化器，用于去除水中的钙、镁等硬度离子，防止在后续的设备中结垢。
反渗透（RO）阶段：这是超纯水设备的核心环节之一。反渗透是利用半透膜的原理，在压力作用下，使水通过半透膜而盐类等杂质被截留。半透膜具有非常小的孔径，只允许水分子通过，从而有效地去除水中的溶解盐类、有机物、胶体等杂质，能去除 90% - 99% 的离子。例如，在半导体制造行业，反渗透处理后的水电阻率可以达到 1 - 10MΩ・cm 左右。
离子交换阶段：经过反渗透处理后的水，虽然大部分杂质已被去除，但仍可能含有少量的离子。离子交换树脂可以进一步去除这些离子。阳离子交换树脂用于交换水中的阳离子（如 Na⁺、Ca²⁺等），阴离子交换树脂用于交换水中的阴离子（如 Cl⁻、SO₄²⁻等）。通过离子交换，可以将水的电阻率提高到更高的水平。
超滤（UF）和微滤（MF）阶段（可选）：超滤主要用于去除水中的大分子有机物、胶体和细菌等，其孔径范围在 0.001 - 0.1μm 之间。微滤则主要用于去除水中的微粒和细菌等，孔径在 0.1 - 10μm 之间。这些步骤可以根据具体的水质要求和使用场景选择性地添加，进一步提高水的纯度。
终端杀菌和精处理阶段：为了确保超纯水的无菌和高纯度，最后还会进行终端杀菌处理，如紫外线杀菌、臭氧杀菌等。紫外线杀菌可以破坏微生物的 DNA 结构，有效地杀灭水中的细菌、病毒等微生物。此外，还可能会采用终端精处理，如使用特殊的吸附剂去除水中极微量的有机物，或者通过膜蒸馏等技术进一步提高水的纯度。